Датчик влажности или гигрометры отличаются чувствительным элементом и методом измерения. По принципу работы датчики разделяют на различные типы: ёмкостные, где чувствительный элемент- конденсатор, резистивные, где чувствительный элемент меняет сопротивление в зависимости от влажности, термисторные, в которых используется сравнение изменений сопротивления двух терморезисторов, находящихся в один в герметичной термокамере, а второй в открытой камере, и оптические, где используется метод определения влажности относительно точки росы, изменяющей коэффициент светопропускания между источником света и фотодиодом.